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Plasma-enhanced atomic layer deposition of zinc oxide thin films
Autor
Pilz, Julian
Titel
Plasma-enhanced atomic layer deposition of zinc oxide thin films
Datei
[19.95 MB]
Persistent Identifier
http://diglib.tugraz.at/download.php?id=5a1def9fd51f8&location=aleph
Erscheinungsjahr
2017
Beschreibung
xiv, 76 Seiten
Beschreibung
Illustrationen, Diagramme
Zugriffsrechte