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diglib / Dissertationen / Plasma-enhanced atomic layer deposition and vapor phase infiltration of ZnO: from fundamental growth characteristics to piezoelectric films
  • Autor
    • Pilz, Julian
  • TitelPlasma-enhanced atomic layer deposition and vapor phase infiltration of ZnO: from fundamental growth characteristics to piezoelectric films
  • Datei
  • Beschreibungxi, 174 Seiten
  • BeschreibungIllustrationen, Diagramme
  • ZugriffsrechteAuch außerhalb des TU-Netzes nutzbar

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