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Investigation of Al diffusion in thin polycrystalline Cu films by SIMS analysis and FEM simulations
Autor
Kleinbichler, Manuel
Titel
Investigation of Al diffusion in thin polycrystalline Cu films by SIMS analysis and FEM simulations
Datei
[4.31 MB]
Beschreibung
103 Blätter
Beschreibung
Illustrationen, Diagramme
Zugriffsrechte