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  • Autor
    • Schmied, Roland
  • TitelFundamental proximity effects for electron beam induced deposition processes
  • Datei
  • Erscheinungsjahr2011
  • BeschreibungXIII, 72 Bl.
  • BeschreibungIll., zahlr. graph. Darst.
  • ZugriffsrechteAuch außerhalb des TU-Netzes nutzbar