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  • Autor
    • Fröch, Johannes Emanuel
  • TitelFocused ion beam assisted deposition of metals
  • Zusatz z. Titelprocess-parameters and functionality relationships
  • Datei
  • Erscheinungsjahr2016
  • Beschreibung82 Blätter
  • BeschreibungIllustrationen, Diagramme
  • ZugriffsrechteAuch außerhalb des TU-Netzes nutzbar