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Fabrication of copper oxide thin films by spray pyrolysis technique for CMOS integrated conductometric gas sensors
Autor
Radl, Lisa
Titel
Fabrication of copper oxide thin films by spray pyrolysis technique for CMOS integrated conductometric gas sensors
Datei
[3.59 MB]
Beschreibung
61 Blätter
Beschreibung
Illustrationen, Diagramme
Zugriffsrechte