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diglib / Dissertationen / Electron beam induced current investigations of proton implanted silicon and power semiconductor devices
  • Autor
    • Kirnstötter, Stefan
  • TitelElectron beam induced current investigations of proton implanted silicon and power semiconductor devices
  • Datei
  • Beschreibungxxii, 173 Seiten
  • BeschreibungIllustrationen, Diagramme
  • ISBNHalbgewebe
  • ZugriffsrechteAuch außerhalb des TU-Netzes nutzbar

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