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diglib / Diplomarbeiten / Development of aluminium doped zinc oxide by plasma-enhanced atomic layer deposition
  • Autor
    • Sorgmann, Benjamin
  • TitelDevelopment of aluminium doped zinc oxide by plasma-enhanced atomic layer deposition
  • Datei
  • Erscheinungsjahr2018
  • Beschreibungxii, 91 Blätter
  • BeschreibungIllustrationen, Diagramme
  • ZugriffsrechteAuch außerhalb des TU-Netzes nutzbar

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