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Bildanalyse zur Rekonstruktion von Integrierten Schaltkreisen im Nanometerbereich
Autor
Bachernegg, Udo
Titel
Bildanalyse zur Rekonstruktion von Integrierten Schaltkreisen im Nanometerbereich
Datei
[63.43 MB]
Erscheinungsjahr
2011
Beschreibung
XVI, 147 S.
Beschreibung
Ill., graph. Darst.
Zugriffsrechte