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diglib / Diplomarbeiten / Adhesion of thin dielectric films applied in semiconductor industry
  • Autor
    • Tomberger, Manuel
  • TitelAdhesion of thin dielectric films applied in semiconductor industry
  • Datei
  • Erscheinungsjahr2012
  • BeschreibungXIII, 133, VIII S.
  • BeschreibungIll., graph. Darst., Kt.
  • ZugriffsrechteAuch außerhalb des TU-Netzes nutzbar

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