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  • Autor
    • Lassnig, Roman
  • TitelDiffusionsbarrieren für die Kupfer-Silizium Grenzfläche in der Metallisierung von Leistungsfeldeffekttransistoren
  • Volltext
  • Erscheinungsjahr2012
  • BeschreibungII, 65 Bl.
  • BeschreibungIll., graph. Darst., Kt.
  • ZugriffsrechteAuch auzserhalb des TU-Netzes nutzbar