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  • Autor
    • Bodner, Thomas
  • TitelUntersuchung der Oberflächenzustände und ihre Wirkungsweise auf die Haftung zwischen Photolacken und Halbleiterschichten
  • Volltext
  • Persistent Identifier
  • Erscheinungsjahr2012
  • BeschreibungVII, 149 Bl.
  • BeschreibungIll., graph. Darst., Kt.
  • ZugriffsrechteAuch auzserhalb des TU-Netzes nutzbar