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  • Autor
    • Scheibelhofer, Peter
  • TitelRobust multivariate process control of multi-way data with applications in semiconductor manufacturing
  • Volltext
  • Erscheinungsjahr2015
  • BeschreibungXVIII, 116 S.
  • Beschreibungzahlr. graph. Darst.
  • ZugriffsrechteAuch auzserhalb des TU-Netzes nutzbar