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  • Autor
    • Padlesak, Stefan
  • TitelEless deposition of platinum on silicon wafers
  • Volltext
  • Erscheinungsjahr2009
  • Beschreibung94 Bl.
  • BeschreibungIll., graph. Darst.
  • ZugriffsrechteAuch auzserhalb des TU-Netzes nutzbar