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  • Autor
    • Ellmaier, Lisa
  • TitelDesign und Optimierung eines Klarlacks für Anwendungen in der Halbleitertechnologie
  • Volltext
  • Erscheinungsjahr2011
  • Beschreibung75 Bl.
  • BeschreibungIll., graph. Darst., Kt.
  • ZugriffsrechteAuch auzserhalb des TU-Netzes nutzbar