- Autor
- Pichler, Jeanine Claudia
- TitelComparison of a sputter process of Ti- and Al-thin films
- Zusatz z. Titelhow does the simulation with the software "Opera" fit with the experiment?
- Datei
- Erscheinungsjahr2016
- Beschreibung102 Seiten
- BeschreibungIllustrationen, Diagramme
- Zugriffsrechte
[9.9 MB]