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  • Autor
    • Bachernegg, Udo
  • TitelBildanalyse zur Rekonstruktion von Integrierten Schaltkreisen im Nanometerbereich
  • Volltext
  • Erscheinungsjahr2011
  • BeschreibungXVI, 147 S.
  • BeschreibungIll., graph. Darst.
  • ZugriffsrechteAuch auzserhalb des TU-Netzes nutzbar